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    沉积气体

    沉积气体

    化学气相沉积气体用来天生沉积薄膜。差异的沉积薄膜需要差异的电子气体。

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    • 产物先容
    • 乙硅烷
    • 硅烷
    • 二氯硅烷
    • 正硅酸乙酯
    • 氧化亚氮
    • 六氟化钨
    • 甲烷
    刻蚀气体

    刻蚀气体

    刻蚀历程需要电子气体与被刻蚀物发生化学反映。刻蚀气体与被刻蚀物发生化学反映,导致被刻蚀物消除。

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    • 产物先容
    • 三氟化氮
    • 四氟化碳
    • 六氟乙烷
    • 八氟环丁烷
    • 二氟甲烷
    掺杂气体

    掺杂气体

    离子注入气体是在作为参杂气体注入到晶圆外貌。

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    • 产物先容
    • 乙硼烷
    • 三氟化硼
    • 磷烷
    • 砷烷
    • 四氟化硅
    • 六氟化硫
    其他气体

    其他气体

    随着市场的生长,公司自主研发半导体其他工艺所需的有数气体及其他混淆气体,解决部门“卡脖子”产物问题。

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    • 产物先容
    • 乙硅烷氢气混淆气
    • 硅烷氮气混淆气
    • 硅烷氦气混淆气
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